资讯动态

当前位置 > 首页 > 资讯动态

浏览字体: 打印页面

模具国检中心装备专题介绍 | 超高精度三坐标测量机

发布时间:2017/12/20 阅读次数:7928

超高精度三坐标测量机ZEISS XENOS是全球测量精度最高的三坐标测量机,堪称三坐标测量领域的“母机”。随着“中国制造2025”宏大计划的实施,质量与创新正成为中国制造变革时代备受推崇的核心价值,两者皆离不开高精度测量这一基础要素。在这样的大环境下,超高精度三坐标测量机 ZEISS XENOS应运而生,成为大测量空间超高精度的行业标杆,能满足中国制造及装备制造业未来更多超高精度几何量计量的需求,包括但不限于超高精度计量校准、集成电路与半导体光刻专用装备、非球面光学、高档数控机床及微纳高精密模具、减速器与机器人、海洋工程及高技术船舶装备、汽车关键部件及动力总成、轴承及齿轮传动系统、钟表、高性能生物及医疗器械、新能源及航空航天等多元化重点领域。


中心配置的超高精度三坐标测量机 ZEISS XENOS


中心配置的超高精度三坐标测量机是蔡司IMT旗舰机型XENOS,目前全球只有六台,分别安装在德国、美国、日本和中国,中国仅此一台。该测量机精度为(0.3+L/1000)µm,测量范围1500mm×900mm×700mm,重复性≤0.2μm,最大承重达1吨。设备的特色主要有以下几个方面:

ZEISS XENOS亮点简介图


1、每立方米0.3微米

ZEISS XENOS提供的测量范围大约为一立方米(900x1500x-700mm)。固定的侧壁能够保证整个系统具有足够的稳定性。因为在Y方向只有上横杆,因此减少了移动重量,也就是说与工件移动的方式相比,这样的设计保证了更高的运行稳定性。同时,重量的减少和不变的移动质量,使驱动装置的加速度和最大速度具有最佳协调性。

测量线性不确定度示意图


2、虚拟的中心驱动

与其它的系统不同,ZEISS XENOS在所有的轴上都采用直线驱动,而不是摩擦驱动。到目前为止,直线驱动在测量机上的使用仍属绝无仅有。其优点在于:速度高、加速度快、定位精度高、驱动无剪切力。由于整体设计的创新型概念,从而首次降低了导轨和测量系统直线驱动器之间的力传递。加之ZEISS XENOS高分辨率光栅尺的优势,新的驱动器技术提供极高的路径跟踪能力以及极高的、低于100纳米的定位精度。


3、碳化硅高技术陶瓷

ZEISS XENOS第一次将创新型的碳化硅陶瓷应用在测量机上。直到现在,针对类似零件的尺寸或精度的测量机,很少使用这种材料。与白色标准陶瓷相比,黑色的碳化硅陶瓷显示出的热膨胀性低50%左右,刚性高出30%,重量减少20%。与钢材相比,其刚性增加了一倍,而重量减少了一半。


4、新型VAST Gold探头

ZEISS XENOS具有一些其它新型机器的特性。这包括设计强化的VAST Gold参考探头,以及具有更高精度和重复精度的优化整合。经过优化的空气轴承,一体化程度得到大大提升,不仅增强了稳定性,也得以保证获得更好的精度。通过改进去祸装置和新的电子技术概念,对坐标测量机上使用的全部移动电缆的精度影响已经明显减少。


5、精度的基础

XENOS具有ZEISS标准的浮动微晶玻璃光栅尺。微晶玻璃是一种几乎没有热膨胀的玻璃陶瓷材料。钢性光栅尺的热膨胀必须进行技术补偿。温度传感器和估计的膨胀系数造成不确定源,而这些影响因素在ZEISS XENOS上从一开始就得到了避免。


模具国检中心对超高精度三坐标测量机ZEISS XENOS的引入,无疑大大提升了东莞市乃至整个华南地区在超高精度计量校准方面的实力。除高精度模具的测量外,ZEISS XENOS也可运用于集成电路与半导体光刻专用装备、汽车关键部件及动力总成钟表、高性能生物及医疗器械、新能源及航空航天等领域,充分满足了东莞制造及装备制造业未来更多超高精度几何量计量的需求。

 

国家模具产品质量监督检验中心整理发布

 

 

国家模具产品质量监督检验中心

工作时间:周一至周五  8:30-12:00  14:00-17:30

业务联系电话:0769-88002898

传真:88002699

送检地址:广东省东莞市长安镇莲湖路10

网址:http://www.dqtmould.com/

邮编:523846

0769-88002898-202
地址:广东省东莞市长安镇莲湖路10号 邮箱:wzh@gddqt.com